半导体搬运设备 ，PICK AND PLACE ,高精度，高速，AOI，减振

yanshanlunjian

半导体搬运设备（PICK AND PLACE） 关于高速，高精度（±1微米）1，什么情况下需要减振系统（被动减振）什么情况下加。减振方法有几种，有什么推荐。据本人了解，激光切割，光刻，这种低频，连续的，或者高的精度的需要被动减震（主动减震还不太了解）。
2，有什么展会或论坛等和此相关，可以推荐一下。